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TU Berlin

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Integrierte Optik

Das Fachgebiet Hochfrequenztechnik betreibt ein Reinraumlabor der Klasse 1000. In diesem Labor werden Forschungsarbeiten zur silizium-basierten integrierten Optik durchgeführt. Die technologische Ausstattung orientiert sich an der Silizium-Planartechnologie.

Lupe

Im Mittelpunkt unserer Aktivitäten stehen optische Boardtechnologien und passive Komponenten auf SOI (silicon-on-insulator) Material.

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